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高溫真空爐的分子泵機(jī)組操作流程

作者: 發(fā)布時(shí)間:2018-09-25 瀏覽次數(shù):1318
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在高溫真空爐開始升溫前檢查水路各閥門是否能打開,水流是否通暢。做好高溫爐開機(jī)前的準(zhǔn)備工作后,打開手動(dòng)閥,就可以按下總電源控制面板上的“機(jī)械泵開”按鈕啟動(dòng)機(jī)械泵,這時(shí)“機(jī)械泵開”按鈕顯示燈亮。開真空計(jì),等待真空計(jì)低真空部分顯示<10Pa時(shí)(如有旁抽,打開手動(dòng)旁抽閥,由旁抽管路對(duì)系統(tǒng)預(yù)抽真空。待低真空顯示<10Pa時(shí),關(guān)閉手動(dòng)旁抽閥。開主閥。真空顯示<10Pa時(shí))打開分子泵電源,按下分子泵控制電源面板上的“啟動(dòng)”按鈕,啟動(dòng)分子泵。待分子泵達(dá)到正常轉(zhuǎn)速后57分鐘,這時(shí)應(yīng)該已經(jīng)達(dá)到真空計(jì)電離規(guī)允許啟動(dòng)的真空度,按下真空計(jì)控制電源電離部分的“開電離”按鈕,觀察真空計(jì)高真空數(shù)值。

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